Uvod u mikro- i nanotehnologije

Definicije, nomenklatura i terminologija. MEMS, NEMS, MOEMS, MST. Značaj, klasifikacija, istorijat. Glavna polja primene. Analogije s biosistemima. Problemi minijaturizacije i skaliranje.

Modelovanje i simulacija

Mehanička, elektromagnetska i termička analiza. Kvantnomehaničko modelovanje. Strukturni dizajn i simulacija. Osnovne numeričke metode. Spregnuta mehanička, elektromagnetska i termička simulacija.

Mikro i nanofabrikacija

Pristup 'odozgo nadole' i 'odozdo nagore'. Odnos dimenzija. Osnovni materijali. Paralela između mikroelektronske i MEMS izrade. Zapreminsko i površinsko mikromašinstvo silicijuma. Plazma nagrizanje. Nanošenje tankih filmova. Planarne tehnologije i fotolitografija. Spajanje pločica, LIGA, mikrogalvanika, EMD, mikrofabrikacija laserom. Nanolitografija. Samoasembliranje.

Strukture za MEMS i NEMS

Osnovni gradivni elementi MEMS. Mikro i nanogredice, mikromostovi, membrane. Ultratanke strukture. Ugljenične nanotube. Molekularne žice i molekularna kola. Metamaterijali.

Kontrola MEMS i NEMS

Problemi stabilnosti. Inteligentna kontrola. Šum u MEMS i NEMS. Mikroskopija skanirajućom sondom. AFM, SNOM. Prelazni procesu u MEMS i NEMS. Uticaj elektromagnetskog zračenja.

MEMS i NEMS sistemi i primene

Senzori i aktuatori. MOEMS. Nanoantene. Mikrofluidika i mikroreaktori. Hemijski MEMS i bioMEMS. Senzori pomeraja, pritiska, ubrzanja. Termalni senzori. Termalni, elektrostatički, SMA aktuatori. Mikro i nanomotori. Nanogeneratori.