MIKROELEKTROMEHANIČKI SISTEMI

Nivo : osnovne studije
Status : izborni
Broj kredita : 6
Semestar : VIII
Fond časova : 3+2
 
Profesor : dr Vladimir Arsoski
Asistent : dr Vladimir Arsoski
Dušan Jakovljević
 
Poželjno predznanje : Fizika 1
Fizika 2
Dalja nadogradnja : Nanotehnologije i nanokomponente
diplomski rad
 
Struktura ispita :

Pravila polaganja ispita: 2023/24.

 
Literatura :
Chang Liu, Foundations of MEMS, Pearson, 2011.
K. Eric Drexler, Nanosystems, John Wiley, 1992.
S. Lyshevski, Nano- and microelectromechanical systems, CRC Press, 2001
M. Madou, Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, 2002